VENA-500

VENA系列自动匹配器用于真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气象沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺；具有自动，快速，可靠，高效，准确，节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等，从而使您能够发现并显著降低制程变化性。

优势

●性能安全可靠，长时间工作稳定
●实时反射功率测量与控制
●优化设计、安装、使用与维修十分简便
●传输效率高，运行噪音小
●屏蔽效果好
●可外接匹配控制盒，与其他射频功率发生器配合使用

特点

●加强了镀膜与刻蚀工艺的控制
●优化的匹配算法加速匹配时间
●最大限度地减少驻波比与反射功率
●严格的可靠性测试

使用参数：