应用于等离子清洗

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。                                                                   

等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。就以下三个部分做一个陈述：

一、控制单元：

目前国内使用的等离子清洗机，包括国外进口的，控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。

而控制单元又分为啷个大的部分：1）电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的，而2.45GHz又称为微波等离子

二、真空腔体：

真空腔体主要是分为两种材质的：1）不锈钢真空腔体，2）石英腔体。

三、真空泵：

真空泵分为两种：1）干泵 、2）油泵

中频电源等离子清洗机，主用作用是物理作用。以单纯的离子轰击清洗物件的表面为主。

射频电源等离子清洗机，主要作用是物理作用加化学作用相结合，以物理轰击物件表面溅射出表面原子与气体中电离的分子，原子产生化学反应，以达到表面改性的作用。

微波电源等离子清洗机，主用是化学作用，但是目前国内很少用到，考虑到屏蔽效果的原因。

等离子清洗特点：

容易采用数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染

目前随着社会的不断发展人们对产品质量与环境要求的不断提高，等离子清洗正逐步替代传统的化学清洗被广泛应用于电子行业（PCB板，LED，手机，汽车），橡塑，（橡胶，塑料表面清洗，丝印）医疗行业等。

K-mate 系列射频电源及自动匹配器与国内多家知名企业（戈德尔，奥坤鑫）等保持长期射频电源及自动匹配器供应。严格的品质控制与高配置的进口元件相结合，为产品24小时不间断运行提供了保障。射频自动匹配器采用L型阻抗网络，匹配范围宽，能够迅速调整匹配起辉放电。且能长时间稳定运行。为客户设备质量打下坚实的基础。