K-mate射频电源及匹配器针对不同负载选择相对应的阻抗匹配器

首先在使用K-mate产品时，要明确应用设备的负载是容抗负载还是感抗负载，根据不同类型的负载选择相适应的射频匹配器。（在采购或调试时告知我司销售人员或技术人员）。容抗负载多指的是真空腔体内电极放电，如磁控溅射，等离子清洗，RIE反应刻蚀，平板PECVD.感抗负载多指是通过线圈耦合等离子体放电，如管式PECVD，ICP刻蚀，射频感应加热等。在选用我司500W功率的射频电源时，容抗负载建议选择VENA-500（0010+00077），感抗负载时应选择VENA-500(0010+00077)并告知负载线圈的规格如铜管的大小，线圈的内径，圈数，及间距。以便我们在出厂时做好调试。在选用1000W匹配器时也需如此。